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Description

Phénomènes physiques auxquels le silicium est sensible et permettant la réalisation de capteurs sur puce :

  • effets thermo-électriques,
  • galvanomagnétiques,
  • piézo-résistifs,
  • interaction rayonnement/matière


Calcul de la résolution d’un capteur

Exemples de micro-capteurs sur silicium :

  • Micro-capteurs basés sur des effets thermoélectriques (capteur de température, accéléromètre thermique, anémomètre thermique...)
  • Micro-capteurs magnétiques (Plaque à effet Hall et « spinning-current », MAGFET, capteur magnétique vibrant)
  • Illustration au travers de ces exemples de micro-capteurs de l’avantage de la co-intégration sur la même puce de silicium de l’élément sensible et de l'électronique de conditionnement.
  • Exemples d'applications industrielles et médicales.


Démonstration de l’outils de conception de micro-capteur Coventor
 

Compétences visées

Ce cours a pour objectif de fournir à l’étudiant les connaissances fondamentales permettant la réalisation de micro-capteurs sur silicium et de montrer en quoi la co-intégration de l’élément sensible et de l’électronique permet d’améliorer les performances métrologiques du système.

Compétences visées :

1. Disciplinaires

  • Savoir décrire et expliquer les quatre effets physiques permettant la réalisation de capteurs sur silicium
  • Savoir calculer la résolution d’un capteur
  • Savoir expliquer le principe de fonctionnement des capteurs thermo-électriques vus en cours
  • Savoir expliquer le principe de fonctionnement des capteurs de Hall horizontaux et verticaux
  • Savoir expliquer et utiliser le principe du « spinning-current » dans un capteur à effet Hall


2. Transversales

  • Savoir rechercher des informations et faire preuve d’analyse critique
  • Savoir planifier son travail en pleine autonomie